IGBT的結構多種多樣,但從縱向結構來看可歸為穿通型,非穿通型。這兩類IGBT的劃分依據為:臨界擊穿電壓下P base-N drift結耗盡層的擴充套件是否穿透了N-基區。本文將對IGBT的縱向結構區別做進一步的歸納與分析。

1.出現年代

PT(punch through)

:最“古老”的IGBT技術,在1980~1990年間佔據主導地位,英飛凌第一代IGBT就是採用的PT技術。

NPT(non-punch through)

:NPT-IGBT由德國西門子公司於1987年推出,為上世紀90年代的主流產品。英飛凌第二代IGBT採用NPT技術。

FS(field stop)

:2000年,西門子公司研製出新的IGBT結構,fieldstop-IGBT(FS-IGBT),它同時具有PT-IGBT和NPT-IGBT的優點,至今一直居於主導地位。英飛凌第三代及以後的IGBT,均採用了FS技術。

PT,NPT,FS型IGBT有哪些區別?

2.電場分佈

當IGBT門極接低電平時,IGBT截止,集電極與發射極之間的電壓將由J2承擔,此時J2結反偏。這個PN接面會擴充套件形成空間電荷區,因為N-區域低摻雜的特性,空間電荷區將主要在N-區域內擴充套件。

PT,NPT,FS型IGBT有哪些區別?

PT和FS

:這兩種IGBT結構中存在一層濃度較高的N+ buffer層,因而電場在N-基區衰減較慢,而在N+ buffer層衰減較快,電場呈梯形分佈。

PT,NPT,FS型IGBT有哪些區別?

NPT

:電場以單一速率在N-基區中衰減,呈三角形分佈。

PT,NPT,FS型IGBT有哪些區別?

3.生產工藝

PT

:以高濃度的P+直拉單晶矽為起始材料,先生長一層摻雜濃度較高的N型緩衝層(N-buffer層),然後再繼續澱積輕摻雜的N型外延層作為IGBT的漂移區,之後再在N型外延層的表面形成P-base、N+ source作為元胞,最後根據需要減薄P型襯底。如果要製作1200V或1700V耐壓的產品,需要比較厚的N-外延層,製作難度較大,且成本很高。

PT,NPT,FS型IGBT有哪些區別?

NPT

:採用輕摻雜N- 區熔單晶矽作為起始材料,先在矽面的正面製作元胞並用鈍化層保護好,之後再將矽片減薄到合適厚度。最後在減薄的矽片背面注入硼,形成P+ collector, 啟用雜質後再澱積金屬鋁。區熔單晶矽成本大約為外延片的50%。

PT,NPT,FS型IGBT有哪些區別?

FS

: FS IGBT 工藝與NPT類似,都是以輕摻雜N- 區熔單晶矽作為起始材料,完成正面元胞製作之後再進行背面工藝。不同的是,FS IGBT在矽片減薄之後,首先在矽片的背面注入磷,形成N+ buffer, 最後注入硼,形成P+ collector, 啟用雜質後再澱積金屬鋁。FS相對於NPT 而言,背面增加了N型注入、矽片更薄,矽片在加工過程中的碎片率上升。更薄的N-區電阻小,使VCESAT更低;更薄N-層導通時儲存的過剩載流子總量少,使關斷時間及關斷損耗減少。

PT,NPT,FS型IGBT有哪些區別?

4.發射極效率

PT

:為了保證器件導通電阻不致太高,必須將背發射區的濃度設得足夠高以提高電導率,這就導致了背面PN接面有極高的注入效率。PT IGBT結構的優點在於:器件導通時,高的發射極效率可使大量空穴迅速地從背面注入到N-基區中,同時電子流經器件表面反型溝道注入到N-基區中,這樣在基區可形成很好的電導調製,使通態壓降很低。

NPT(FS)

:與PT-IGBT相比,NPT(FS)-IGBT的背P+發射區極薄且摻雜濃度相對較低,所以NPT-IGBT背發射區注入效率比PT-IGBT低得多。雖然NPT(FS)-IGBT背發射極注入效率較低且基區較寬,但由於基區少子壽命很長,使得基區載流子電導調製效應更加顯著,NPT型IGBT的飽和壓降並不比PT高。

FS

:FS-IGBT具有N+緩衝層,從而所需的N-基區較薄,這一點類似於PT-IGBT, 同時FS-IGBT具有較低的背P+發射效率,這一點類似於NPT-IGBT。

5.拖尾電流

PT

:PT-IGBT結構中高濃度厚發射區的存在一方面增大了發射效率,增加了基區儲存過剩載流子數目,另一方面器件關斷時,空穴無法從背P+區流出而只能在n-基區靠自身複合而消失,導致明顯的拖尾電流,從而延緩器件的關斷,關斷時間的加長導致了器件關斷損耗的增加。因此,為了改善PT-IGBT的關斷速度,通常需要引入少子壽命控制技術。常用的少子控制技術有:電子輻照,重金屬摻雜,質子輻照等。但在改善開關特性的同時,往往會引入器件引數漂移、特性退化、穩定性差等問題。

NPT

:在NPT-IGBT中,因為背發射極電流中電子流成分很大,器件關斷時,基區儲存的大量電子可以透過流向背發射區而很快清除掉,空穴可以迅速流向P阱,所以拖尾電流小,開關損耗小,因此不需要少子壽命控制技術。另外NPT型IGBT有一個突出優點就是器件關斷時拖尾電流隨溫度變化很小,器件的可靠性很高。

FS

:FS相對於NPT,拖尾電流持續時間更短。這是因為反向電壓恢復到直流母線電壓時,P+N結耗盡層已經擴充套件到FS層或接近FS層,尚未被抽出的過剩載流子就很少了。所以FS具有NPT的優點而功耗更小。

6.溫度係數

PT

:很大的電流範圍內是負溫度係數。PT-IGBT在室溫下載流子的壽命較短,但隨著溫度的升高而變長,載流子的濃度升高,即等效電阻隨溫度的升高而下降。即正向壓降Uce減小。

NPT,FS

:很大的電流範圍內是正溫度係數。NPT-IGBT中,載流子壽命較長,溫度的增加對載流子增加影響很小。在這種情況下,隨著溫度升高,降低的載流子遷移率u和增加的集電極及發射極的接觸電阻成為影響導通壓降的主要因素。在非常低的正向電流時,NPT IGBT也表現為負溫度係數,當電流稍微增大時,IGBT就轉化為正溫度係數。因此,在實際應用中,可以認為NPT-IGBT具有正的溫度係數。

總結

綜上所述,PT, NPT,FS 型IGBT主要區別可以歸納為下表:

PT,NPT,FS型IGBT有哪些區別?

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