任意一種SiC晶體中,Si原子與C原子的個數都嚴格的

1:1配比關係

。這也就意味著每個Si原子周圍恰好圍滿了4個碳原子,其單個Si-C價鍵為4。6eV(

不同多型體之間其鍵能幾乎相似

)。由於其價電子稍微局域化在比Si電負性更大的C原子附近,從某種意義上來講Si、C原子分別為陽離子與陰離子。其離子性導致SiC成為目前最熱門的材料研究方向。

SiC常見的多型體

SiC多型體結晶數量超過了驚人的200種。造成這樣的原因可能是

由於SiC有中等離子性鍵導致

[1,2]。不同的多型體之間:

① 熱膨脹係數相差不大

② 幾乎由相似的Si-C鍵構成

③ 組成晶體的機械特性(如硬度等)大致相似

其中3C-SiC由重複的ABC描述(

立方晶系

)、4H-SiC由ABCB或ABCA描述(

六方晶系

)、6H-SiC由ABCACB(

六方晶系

)描述,其結構如下圖所示。

SiC物理性質概述(1)

圖1 常見的SiC多型體結構[3]

圖中k與h分別代表由立方格點、六方格點構成,6H-SiC結構中k1,k2則代表了兩個不等價的立方格點。兩種不同格點結構如下所示。

SiC物理性質概述(1)

圖2 立方格點與六方格點

SiC多型體的穩定性和形成機率強烈依賴於溫度[3],例如:3C-SiC高於1900~2000℃時就會轉變為如6H-SiC的多型體。所以4H-SiC與6H-SiC多型體在SiC中最為常見。

SiC常見多型體的電學性質

3C-SiC、4H-SiC、6H-SiC的電子能帶結構如下圖所示[4~8]。

SiC物理性質概述(1)

圖3 3C-SiC、4H-SiC、6H-SiC的電子能帶結構

與Si能帶結構相似,SiC的多型體也為間接能帶結構,價帶做最高點位於布里淵區的

Γ

點,導帶的最低點則是出現在布里淵區的邊界處。

SiC中不同多型體之間電子的有效質量及其各向異性區別較大,

導致不同多型體之間的電子遷移率區別較大,同時會引起電子運輸的各向異性。

然而不同多型體之間的

空穴有效質量區別卻較小

。3C-SiC、4H-SiC、6H-SiC的電子空穴有效質量具體如下所示

SiC物理性質概述(1)

在這裡我們定義一個性質——六方度:

指一個單位晶胞中六方格點數與Si-C雙原子層總數之比

[3](3C-SiC的六方度為0,4H-SiC的六方度為1/2,6H-SiC的六方度為1/3)。我們發現

SiC多型體的禁頻寬度隨六方度的增加而單調增加。

當然

與Si等半導體相同

的是,SiC多型體也會因為熱膨脹,使禁頻寬度(Eg)同時也滿足以下溫度關係,隨溫度增加而減小。

E_g (T)=E_g0-(αT^2)/(T+β)

其中

α

β

為擬合引數,(

α=8.2*10^{-4}eVK^{-1}

 β=1.8*10^{3} K

)。

除此以對SiC進行高濃度摻雜時,從而導致

能帶簡併使得SiC多型體的禁頻寬度縮小。

內容總結

本節內容總結了

1。 SiC存在離子性價鍵、其鍵能較高

2。 由於SiC具有離子性導致其擁有很多多型體

3。 介紹了三種SiC多型體的結構及層級組成

4。 介紹了三種常見多型體的能帶結構以及影響禁頻寬度的因素

引用

[1] Heine V , Cheng C , Needs R J 。 The Preference of Silicon Carbide for Growth in the Metastable Cubic Form[J]。 Journal of the American Ceramic Society, 2010, 74(10)。

[2]Yoo W S , Matsunami H 。 Growth Simulation of SiC Polytypes and Application to DPB-Free 3C-SiC on Alpha-SiC Substrates[M]。 Springer Berlin Heidelberg, 1992。

[3]Kimoto T , Cooper J A 。 Fundamentals of Silicon Carbide Technology: Growth, Characterization, Devices and Applications[M]。 2014。

[4]Lambrecht W , Limpijumnong S , Segall B 。 Electronic band structure of SiC polytypes[C]// International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 1995。 1996。

[5]K?Ckell P , Wenzien B , Bechstedt F 。 Electronic properties of cubic and hexagonal SiC polytypes from ab initio calculations[J]。 Phys Rev B Condens Matter, 1994, 50(15):10761-10768。

[6]W, van, Haeringen, et al。 On the Band Gap Variation in SiC Polytypes[J]。 physica status solidi (b), 1997, 202(1):63-79。

[7]Wellenhofer G , R?Ssler U 。 Global band structure and near-band edge states[J]。 Physica Status Solidi, 1997, 202(1):107–123。

[8]Persson C , Lindefelt U 。 Relativistic band structure calculation of cubic and hexagonal SiC polytypes[J]。 Journal of Applied Physics, 1997, 82(11):5496-5508。