XPSpeak軟體分析
1。透過Excel中資料binding energy 、intensity 匯入origin進行資料電荷校正
以C1s為基準進行校正，XPS標準C1s為284。8eV結合能，透過對比實驗中的C1s結合能281。9eV得出校核電荷偏差ΔeV=284。8eV-281。9eV=2。9eV。
補充說明：對於樣品中本身就含碳的樣品，採用C1s來進行荷電校正的時候一定要小心。如果樣品本身導電，實際上可以不用荷電校正。如果樣品本身導電性較差，而樣品中又含碳，那麼需要對樣品進行分峰，分峰之後找到外來汙染碳的譜峰，將其作為基準進行校正才是準確的（並不是哪個峰最強就將其作為基準）。實際上，荷電校正值一般不會超過0.5 eV. 如果本身含碳，也可以採用噴金的方法，以Au4f7/2(84.0 eV)作為基準來進行荷電校正。
2。透過origin檔案-匯出-。dat檔案，這樣XPSpeak才可以識別
3。匯入XPSpeak進行分析
data-import（ASCII）匯入生成好的檔案
background：
· 調整HighBE、LowBE使得基線在整體譜線下方（此處儘可能不要調整）
· 選擇shirley背景扣除法對背景基線進行扣除，調整slope使得所有譜峰均在基線之上
add peak
· 點選Add peak會彈出一個新視窗，在Peak Type處選擇s、p、d、f等峰型別（根據需要來選，不影響分峰），
S.O.S選0.
· 在Position處輸入希望的峰位，需固定時則點fix前小方框，同法還可選半峰寬（FWHM）、峰面積等。
· 設定好之後，點選accept新增該峰。
需要說明的是：
A。 對於p、d、f等能級的次能級（如p3/2、p1/2，為簡便省略/2，簡稱為p3、p1）強度比是一定的，p3：p1=2：1；d5：d3=3：2，f7：f5=4：3。在峰擬合過程中要遵循該規則。如Pb4f中同一價態的Pb4f7和Pb4f5峰面積比應為4：3。
B。對於有能級分裂的能級（p、d、f），分裂的兩個軌道間的距離也基本上是固定的。 如同一價態的W4f7和W4f5之間的距離為2。15eV左右，Si2p3和Si2p1差值為1。1eV左右，具體化學狀態下能級分裂的兩個軌道之間的距離會有不同。可以透過查詢獲得元素不同軌道距離
C。對於同一元素價態的裂分軌道而言，其半峰寬應該儘量接近一致。對於同一儀器及儀器引數，各資料的GL高斯－洛倫茲比應保持一致（一般直接採用預設值80）。
所有峰新增完成後點選omtimise All進行分峰擬合
· 可以透過調整半峰寬（FWHM）、峰面積等以儘可能貼合總趨勢曲線
· 調整儘可能保證峰position在合理範圍內
4。分峰擬合完成後可以進行儲存及影象後處理
A。saveXPS進行專案儲存以便後續對分峰擬合結果進行修改
B。data-export（spcetrum）生成。dat檔案，透過origin開啟後對分峰擬合影象進行編輯處理
C。data-export（peak parameters ）生成。par檔案透過記事本開啟得到個元素價態的峰面積等資料分析元素價態佔比。
