回憶—蓮2022-05-04 16:00:58拋光液是一種不含任何硫、磷、氯新增劑的水溶性拋光劑，拋光液具有良好的去油汙，防鏽，清洗和增光效能，並能使金屬製品顯露出真實的金屬光澤。效能穩定、無毒，對環境無汙染等優點。
拋光液的主要產品可以按主要成分的不同分為以下幾大類：金剛石拋光液（多晶金剛石拋光液、單晶金剛石拋光液和奈米金剛石拋光液）、氧化矽拋光液（即CMP拋光液）、氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液和碳化矽拋光液等幾類。
（1）拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的矽原子在表面進行氧化還原的動力學過程。這是化學反應的主體。
（2）拋光表面反應物脫離矽單晶表面，即解吸過程使未反應的矽單晶重新裸露出來的動力學過程。它是控制拋光速率的另一個重要過程。
