光刻膠是遮光樹脂麼?使用者20533214653132021-11-23 11:19:57

光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一,它是是用於若干工藝的光敏材料,以在表面上形成圖案化塗, 這個過程在電子行業中至關重要。條萊垍頭

1 簡介及工作原理萊垍頭條

光刻膠(又稱光致抗蝕劑),是指透過紫外光、準分子鐳射、電子束、離子束、X射線等光源的照射或輻射,其溶解度發生變化的耐蝕刻材料。光刻膠具有光化學敏感性,其經過曝光、顯影、刻蝕等工藝,可以將設計好的微細圖形從掩膜版轉移到待加工基片。因此光刻膠微細加工技術中的關鍵性化工材料,被廣泛應用於光電資訊產業的微細圖形線路的加工製作萊垍頭條

光刻膠是遮光樹脂麼?miracle29872021-11-25 14:00:23

不是。條萊垍頭

光刻膠按其形成的影象分類有正性、負性兩大類。在光刻膠工藝過程中,塗層曝光、顯影后,曝光部分被溶解,未曝光部分留下來,該塗層材料為正性光刻膠。如果曝光部分被保留下來,而未曝光被溶解,該塗層材料為負性光刻膠。按曝光光源和輻射源的不同,又分為紫外光刻膠(包括紫外正、負性光刻膠)、深紫外光刻膠、X-射線膠、電子束膠、離子束膠等。萊垍頭條