簡述電磁透鏡球差、色差及象散的形成機制?使用者32497870648228772020-04-02 13:55:12

球差是由電磁透鏡近軸區域磁場和遠軸區域磁場對電子束的折射能力不同而產生的像差。萊垍頭條

近軸區域對電子束的折射能力弱,遠軸區域對電子束的折射能力強。像散是由透鏡磁場的非旋轉對稱引起的像差。透鏡的極靴孔加工誤差,上、下極靴的軸線錯位、極靴材質不均以及極靴孔周圍的區域性汙染等,都會引起透鏡的磁場產生橢圓度。色差是由於成像電子的能量不同或波動,電子在透鏡磁場中運動速度不同,從物面上一點散射的電子不能聚焦在像面上同一點而形成的像差萊垍頭條